1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積介紹：是一款CE認證的二通道高真空CVD系統(tǒng)，它是由二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，其最高工作溫度可達1600℃，極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。

產(chǎn)品型號：GSL-1700X-HVC
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-12-04
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詳細介紹

價格區(qū)間	面議	儀器種類	管式爐
產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,能源,電子
工作電壓:	AC 208-240V單相, 50/60Hz

    1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)介紹：

    型號：GSL-1700X-HVC

    殼體：

    •內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

    •保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環(huán)保節(jié)能，減少熱量的損失

    •真空泵和氣體混合系統(tǒng)位于移動架上，方便移動.

    •儀器上已經(jīng)安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組

    爐管:

    •材質(zhì)：高純氧化鋁陶瓷管

    •一根高純氧化鋁陶瓷管已經(jīng)安裝在爐子上

    •(標配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm

    (選配尺寸)”(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm

    功率:

    6KW

    工作電壓:

    AC208-240V單相,50/60Hz

    加熱元件:

    8根1800°cgradeMoSi2heatingelement

    工作溫度:

    •最高工作溫度.：1650°C(<2h)

    •連續(xù)工作溫度.：1600°C

    升溫速率:

    ≤5°C/min

    加熱區(qū)長度:

    加熱區(qū)長度：457mm(18”)

    溫控系統(tǒng):

    •采用PID方式自動控制，并可設(shè)置30段升降溫程序

    •控溫精度：±1°C

    •控溫儀表操作視頻

    •熱電偶：B~型，已經(jīng)安裝在爐內(nèi)

    真空法蘭:

    •一對不銹鋼真空密封法蘭已經(jīng)安裝

    •法蘭上帶有一機械壓為表

    •兩個精密針閥

    •一個KF-25連接器和KF-25轉(zhuǎn)KF-40抽氣接口

    •一個1/4~卡套接買

    1700℃二通道混氣真空CVD系統(tǒng)外形尺寸:

    550x380x520mm

    高真空機組：

    功率：100~110W

    工作電壓：AC208-240V單相,50/60Hz

    外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm

    殼體:

    殼體尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm

    最大承載量：600Lbsontop

    分子泵控制面板:LCD數(shù)字顯示

    控制面板：

    •一鍵操作：按下"start”鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動)

    系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率

    抽氣速率：

    N2：33L/s

    He：39L/s(2340L/minute)

    H2：32L/s

    工作范圍:1000mbarto<1E-7mbar

    質(zhì)子流量控制器

    殼體

    •采用316不銹鋼制作

    •混氣箱尺寸：Φ80X120mm

    •外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm

    MPC控制面板(Click”to"enlarge),可根據(jù)客戶要求定制

    功率：18W

    工作電壓：AC208-240V,單相,50/60Hz

    質(zhì)保期：

    一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件

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