全自動(dòng)噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品型號(hào)：SP200-AT
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-12-04
訪問(wèn) 量：2637

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工
處理晶圓	25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping	電缸有效行程	300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片	可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理	最大霧化流量	8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑	30～50um	溫度均勻性	≤±1%(溫度范圍:RT～150℃)
控溫精度	±0.5℃	設(shè)備尺寸	1600mm(W)1500mm(D)1800mm(H）

噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動(dòng)噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺(tái),具有晶圓真空吸附及自動(dòng)頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

處理晶圓:25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動(dòng)mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動(dòng)上下片,可連續(xù)自動(dòng)化工藝處理
最大霧化流量:8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑:30～50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT～150℃)
控溫精度:±0.5℃
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H）

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